XR源包括一個19英寸的機架 ，該機架包含氣體子係統 ，功率傳輸子係統和電子控製設備 ；無電極Z-pinch光源組件及其集成的真空泵 ；以及高效脈衝調製器 。這種模塊化設計可輕鬆集成到顯微鏡或其他應用設備 。 XR能夠向2pi球形弧度提供高達400 milliwatts的2.8nm功率 ，並且將以高達2kHz的脈衝重複頻率連續運行 。 XR安裝簡單易於使用 ，僅需電源 ，冷凍水供應 ，幹淨的幹燥壓縮空氣和高純度氮氣 。 

為了滿足不同應用的使用需求 ，該產品在使用上進行了如下的優化 ，以期更加地用戶友好：1 、用戶可以根據對峰值功率和峰值亮度的不同來調節EUV的光輸出 。2 、在典型操作中 ，等離子體的直徑通常小於1mm 。3 、係統外側留有光學接口 ，方便客戶進行應用程序設備的連接 。4 、自定義彩色用戶頁麵 ，客戶可跟根據需求選擇手動或者自動菜單 。 

無電極 Z-Pinch™ 軟X射線 (SXR)光源 EQ-10SXR

前期 ，用於水窗顯微鏡和其他應用的軟X射線（SXR）在同步加速器設施之外無法提供 。現在 ，得益於Energetiq研發的實驗室級光源 ，軟X射線可以在各種實驗室中用於通量水平的成像和微探測應用 。

無電極 Z-Pinch™ 軟X射線 (SXR)光源 EQ-10SXR

前期 ，用於水窗顯微鏡和其他應用的軟X射線（SXR）在同步加速器設施之外無法提供。現在 ，得益於Energetiq研發的實驗室級光源 ，軟X射線可以在各種實驗室中用於通量水平的成像和微探測應用 。